Schau mal in den entspr. Backup-Ordner in Deinem Home-Verzeichnis unter ~/Library/Application Support/MobileSync/Backup/ …

1) Beende iTunes.

2) Lösche alle Ordner und Dateien im Verzeichnis ~/Library/Application Support/MobileSync/Backup/

3) Starte iTunes wieder und versuch nochmals, ein Backup erstellen zu lassen.
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Christian, MacFix